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  • 产品名称:MicroSense电容式位移传感器
  • 产品类别:【分析设备/仪器】
  • 发布日期:2012-11-14 11:15:59
  • 关 键 词:MicroSense电容式位移传感器
  • 供 应 商:Dymek Company Ltd.
  • 联系方式:021-3861 3675
  • 地   址:上海市浦东金高路2216弄35号6幢306-308室

MicroSense 公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)开创了高辨率电容式位移传感器的先河,致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。

特性

1.完全非接触式电容式微位移测量—最准确的电子感应技术, 无损样品测量

2.最优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米

3.高准确性,高灵敏性测量,最高精度可达0.5nm。

4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响

5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定 位,设备自动聚焦测量(微影设备,原子力显微镜,光罩探测,图像确认,LCD生产设备…)

测量表(Gauge)型号

电容式位移传感器 电容式位移传感器 电容式位移传感器 电容式位移传感器 电容式位移传感器

4800系列 8800系列 5800系列 6800系列 6360厚度测量系统

4800系列 以最优化的线性和稳定性著称, 一款多功能测量设备

8800系列 以拥有最好的线性和稳定性系统著称,测量带宽高达20K HZ,纳米级分辨率,超低

噪声完美的伺服定位反馈系统设计

5800系列 以高动态测量著称--高分辨率测量,可达100Khz 带宽测量,可靠性测量甚至达触

地物例如气动转子和马达

6800系列 拥有皮米级别噪声分辨率

Mini系列 迷你压缩型传感器测量系统

6360系列 非接触式,高精度测量硅片、CD、DVD、光盘厚度

测量探头(Probe)形状

电容式位移传感器 电容式位移传感器 电容式位移传感器 电容式位移传感器

圆柱型测量探头 45°倾角测量探头 矩型测量探头 直角型测量探头

圆柱型测量探头 探头直径0.5mm 到5mm 可选

45°倾角测量探头 可紧贴圆柱形被测物测量

矩型测量探头 测量马达及轴向转动物时可提供最大分辨率

直角型测量探头 用于测量受限空间测量

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