绿色厂务科技论坛聚焦“节能减排”

2017-3-16  作者:张彦雯 SEMICON China 2017 Show Daily特约记者  来源: SEMI中国

核心提示:在市场和资金的拉动下,中国半导体制造迎来了飞速成长的阶段,十多条先进生产线正在开工建设中,而Fab建设中避不开的话题就是节能减排安全高效。我们需要在厂房规划和建造,能源与设备效能优化与提升,稳定的装机平台,气体化学品的管理,废水废气的处理和排放,企业风险管理和业务持续规划等多方面做得更好。为此,SEMICON CHINA 2017首次举办了“绿色厂务科技论坛”,新理念、周详的方案使与会者获得厂务中外合作和学习分享的机会。


在市场和资金的拉动下,中国半导体制造迎来了飞速成长的阶段,十多条先进生产线正在开工建设中,而Fab建设中避不开的话题就是节能减排安全高效。我们需要在厂房规划和建造,能源与设备效能优化与提升,稳定的装机平台,气体化学品的管理,废水废气的处理和排放,企业风险管理和业务持续规划等多方面做得更好。

为此,SEMICON CHINA 2017首次举办了“绿色厂务科技论坛”,新理念、周详的方案使与会者获得厂务中外合作和学习分享的机会。

来自M + W集团的技术副总裁Hartmut Schneider在其《可持续的,具成本效益的半导体设备设计趋势》报告中指出,半导体工业最大限度减少废物产生的需求不断增加,实现零排放晶圆厂,是我们专注于在可持续发展的环境中保护地球资源的必然选择。

为实现晶圆厂可持续性的建设和运营,在建筑设计之初就需准确估计制造过程的核心要求,以防止过度设计,过度资本支出和浪费资源。此外,操作性考虑也应成为设计和工程过程的固有部分。

实施具有成本效益的可持续性措施必须关注晶圆厂的建设和运营阶段,理想的是通过生命周期评估(LCA)等监测和建模系统进行评估和优化。此类系统还可以评估对温室效应和材料和产品选择,运输和回收的一次能源消耗的影响。

Hartmut Schneider的报告概述了最先进的LCA解决方案,以及减少浪费的当前状况和未来趋势,以便在其构建和运行周期里提高半导体晶圆厂的可持续性,同时保持成本效率。施工阶段考虑包括材料选择,预制/模块化和物流。同时侧重固体废物预防措施,水和废气处理及回收,以及能源效率措施。

康斐尔分子过滤产品经理何娜娜的报告则介绍了晶圆厂洁净室微环境污染的控制,如气态污染物(AMC)控制技术和原理,高等级晶圆厂净化挑战与解决方案,制程机台之微环境污染控制方案。

中芯国际(北京)厂务总监姜镭作《绿色厂房及厂务系统设计》的报告,则围绕住建部绿色建筑、绿色厂房新的建筑设计规范,对照厂务系统设计提出了完整的方案体系和案例分析。

中华洁净协会理事长、洁净技术研发中心主任、台湾科技大学胡石政博士的报告,介绍了采用开发的仿真软件创建的“高科技制造工厂能源节约利用的方法”,晶体管液晶显示器制造过程中的空气单元节能。研究方法包括:方法1调整洁净室内干球温度和相对湿度的设定值;方法2降低MAU中供气风量的流量;方法3使用拉通型而不是推通型;方法4将两级冷却盘管组合成单级盘管;方法5将原始出口温度从16.5℃降至14.5℃;方法6通过更频繁地更换HEPA过滤器,避免过滤器上的压降过度增加。将模拟结果进一步与台湾研究的TFT-LCD厂的测量数据进行比较后模拟结果表明,方法1比其他方法对年功耗的影响更大。

上海市政府采购评审专家,上海申元工程投资咨询有限公司总工程师鲍伟忠作了绿色建筑成本控制咨询报告,对微电子厂房洁净厂房工程项目,对照标准规范作了评估分析,项目全生命周期,关键节点控制,全过程投资理念,选址,对暖通系统,价格管理等都作了详尽分析。

所有的报告都关注节能减排,100座的会议室挤进140人听会,表明企业对绿色厂务建设的重视,也表明论坛的举办达到预期效应。

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