Technic展出实时在线分析仪RTA 3D-ACE版本

2019-3-20  作者:  来源: 大半导体产业网

核心提示:为半导体薄膜部门对铜、钴制程的金属薄膜沉积工艺的可靠性和深入的过程控制提供了计量学方案


展位号:N5 5222

 

Technic的实时分析仪 RTA 3D-ACE版本是由多名化学家和数学家组成的RTA团队根据多年实验室和生产现场经验以及客户的意见进行设计的创新型产品,具有多项美国专利。 该系统为半导体薄膜部门对铜、钴制程的金属薄膜沉积工艺的可靠性和深入的过程控制提供了计量学方案。

特点和好处包括:1)创新的电化学技术 & 最先进的电子元件2)简洁直观的图形用户界面,轻松操控,允许定制分析流程3)铜溶液或钴溶液所有组分的分析只需15-25分钟4)极佳的分析准确性和重复性5)自动浴缸取样、自动校准、自动分析6)不需稀释、无需额外试剂或额外的分析操作(几乎不含消耗品、不产生废物)7)早期污染、故障侦测功能8)占地面积小、几乎不需维护、超低运行成本9)开放的软件架构,允许高级定制和集成。

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