家登精密展出极紫外光光罩传送盒等产品

2017-3-16  作者:  来源: SEMI中国

核心提示:极紫外光光罩传送盒(EUV POD)用于极紫外光微影先进制程之光罩处理,通过微影设备领导厂商认证,并符合半导体产业规格需求


 

1) 左图:极紫外光光罩传送盒(EUV POD)

用于极紫外光微影先进制程之光罩处理,通过微影设备领导厂商认证,并符合半导体产业规格需求,具有内外盒之双层设计,可以更有效的维持内部无污染环境提供极紫外光光罩在运输、储存、处理及在真空环境操作下完美的保护。

2)右图:12吋前开式晶圆传送盒(300mm FOUP)

该产品可确保晶圆传送安全及避免产生微粒。完全符合SEMI规范,一体成形的设计提供可靠的平面效能。其特有的门闩机构,能避免开关不完全而掉落的风险,人体工学设计使产品易于操作与使用。

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