Silcotek展出抗腐蚀及保护的Coating技术

2017-3-16  作者:  来源: SEMI中国

核心提示:SilcoTek使用CVD的制程方式将Si-O or Si涂布在会受到腐蚀性气体攻击的管路及零件上, 可有效增加使用寿命及降低Particle Source的产生


1)SilcoTek使用CVD的制程方式将Si-O or Si涂布在会受到腐蚀性气体攻击的管路及零件上, 可有效增加使用寿命及降低Particle Source的产生;

2) Si-O & Si涂层不会与Etching制程气体(HCl, HBr, Cl2)起任何反应, 特殊的分子键结有效限制住Particle的产生,涂层建立与制程气体及零件良好的阻隔墙;

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