MIRICO 展出LDS调频雷射色散光谱仪

2017-3-16  作者:  来源: SEMI中国

核心提示:调频雷射色散光谱法


1)英国MIRICO公司Model LDS 100 OP & LDS 100 EGA Analyzer,采用调频雷射色散光谱法LDS 原理,量程范围广,量测可达ppt浓度等级,其反应时间极为快速,可使用于工业制程气体排放管道或是洁净室环境中微污染之量测。

2)MIRICO LDS 产品具有即时量测,可测物种多反应灵敏;系统不因光源强度干扰;量测范围广,最低侦测极限可达 ppt;量测准确,不受其它物种或脏污、水气干扰;维修频率低,耗材备品少等特点。应用范围包括洁净室内环境,工业制程气体排放监测,环境调查或查漏,半导体生产,特殊气体,空气品质。

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