飞纳电镜展出 Phenom ProX 台式扫描电镜能谱一体机

2017-3-16  作者:  来源: SEMI中国

核心提示:光学导航下的半导体样品,可以清楚的定位到某一个区域,飞纳电镜独家的光学导航,具有内置彩色光学显微镜


1)光学导航下的半导体样品,可以清楚的定位到某一个区域,飞纳电镜独家的光学导航,具有内置彩色光学显微镜,不仅能实现快速定位到样品感兴趣位置,还能对样品在光学下进行拍照,与电镜下图片进行对比;

2)通过飞纳台式电镜的专用样品杯,倾斜旋转样品台,进行倾斜旋转观测半导体样品的不同角度形貌;

3)通过飞纳台式扫描电镜的能谱一体机,可以进行能谱分析半导体芯片 Pad 区的成分分布情况。

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