晖哲电子展出关键材料自动化追踪识别系统

2017-3-16  作者:  来源: SEMI中国

核心提示:晖哲电子货架提供了易于输送的解决方案,可在半导体生产线上追踪每个晶圆批次。


1) 晖哲电子货架提供了易于输送的解决方案,可在半导体生产线上追踪每个晶圆批次。每个存储位置都会与晶圆批次信息自动链接,当操作人员将某批次晶圆随意放置在货架位置上时, 专用开关机制便会立即启动RF信息读入过程。所有数据将会收集于一个中央数据库中,方便工作人员在企业内联网上任何PC终端机,通过独立操作系统的图示网络界面来查询数据。此外,正确存储位置的LED灯将会亮着,让操作人员知悉该批次晶圆的实际位置。

2) 高阶制成洁净系统,在半导体制成中,本模组用于控制晶圆存储的环境的温度,湿度以及洁净度,晖哲提供各种客制化定制,故最适合搭配N2或CDA(Clean Dry Air)使用。

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